靶材和背板之間綁定的完整性和結(jié)合率可以決定靶材的性能和成本，所以對于靶材綁定的要求比較高，那么應(yīng)該怎么綁定呢？下面四豐小編就來為大家介紹一下靶材綁定方式及流程吧！
　　

　　一、靶材的主要綁定方式

　　1、膠粘劑綁定

　　
　　銀膠綁定是成本比較低的技術(shù)，方法是用專門的導(dǎo)熱和導(dǎo)電環(huán)氧樹脂把靶材綁定到背板上，該技術(shù)需要將靶材和背板的表面進(jìn)行處理，綁定的靶材具有低殘余應(yīng)力并且易于返工。其切點(diǎn)是具有相對高的熱阻，這就會(huì)限制濺射靶材的使用功率密度和沉積速率。
　　

　　2、焊料綁定

　　
　　焊料綁定對比銀膠綁定具有低的熱阻，所以能以更高的沉積速率運(yùn)行。一般常見的焊料填充材料是銦，它具有高導(dǎo)熱性、且相對較低的熔點(diǎn)和彈性模量，可以降低綁定后的殘余應(yīng)力。其低熔點(diǎn)還簡化了綁定的返工并允許重復(fù)使用背板。綁定過程可以在空氣中進(jìn)行，降低了綁定成本。

　　

　　3、高溫焊接

　　
　　高溫焊接是釬焊和擴(kuò)散焊結(jié)合的技術(shù)，需要在500℃以上進(jìn)行操作，需要使用真空或可控氣氛烘箱。釬焊接合通過在接合處熔化釬焊合金以形成接合來實(shí)現(xiàn)接合。擴(kuò)散焊接不使用填料，而是通過在高壓將背板加熱到與靶材發(fā)生相互擴(kuò)散的溫度來實(shí)現(xiàn)粘合。這種結(jié)構(gòu)有較低的熱阻，一般接近或者低于母合金的熱阻，且允許較高的功率密度。
　　

　　二、靶材綁定流程

　　
　　1、在綁定之前需要將靶材和背板表面進(jìn)行預(yù)處理；
　　
　　2、將靶材和背板放置在釬焊臺(tái)上，并升溫到綁定溫度；
　　
　　3、將靶材和背板金屬化；
　　
　　4、粘接靶材和背板；
　　
　　5、調(diào)整粘接位置；
　　
　　6、降溫和后處理。
　　
　　經(jīng)過以上介紹可知靶材綁定方式主要有膠粘劑綁定、焊料綁定、高溫焊接等，綁定流程為預(yù)處理-固定在釬焊臺(tái)-升溫-金屬化-粘接-調(diào)整-降溫等。洛陽高新四豐電子材料有限公司主要產(chǎn)品有鉬及鉬合金靶、銅靶、鈦靶及鎢靶等，產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)異，售后服務(wù)完善，歡迎大家隨時(shí)致電或留言進(jìn)行咨詢。