硬質(zhì)涂層是通過氣相沉積法，在硬質(zhì)合金刀片表面上涂覆耐磨的碳化鈦、氧化鋁等薄層，從而形成表面涂層硬質(zhì)合金，這種涂層材料耐磨性好，耐腐蝕，且耐高溫氧化，在切削刀具和耐磨零部件等機械加工行業(yè)中得到廣泛使用。在硬質(zhì)涂層沉積的時候，需要利用到鍍膜靶材來進行沉積，所以靶材能夠影響到硬質(zhì)涂層各方面的性能和使用效果。因此這就對硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的要求較高，下面我們就來一起看看硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的技術(shù)要求及性能要求是什么吧。
　　

　　一、硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材技術(shù)要求

　　1、靶材純度

　　
　　靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大。靶材的純度越高，濺射薄膜的均勻性越好，性能越高。影響靶材純度的主要因素是雜質(zhì)含量，雜質(zhì)的來源廣泛，包括熔煉鑄造過程中的夾雜物和粉末原料中的氧氣和水等。靶材作為濺射中的陰極，固體中的雜質(zhì)和氣孔中的O2和H2O在沉積過程中，容易在薄膜表面形成熔滴和孔洞。
　　

　　2、致密度

　　
　　靶材的致密度不僅影響濺射時的沉積速率、濺射膜粒子的密度和放電現(xiàn)象等，還影響著濺射薄膜的物理和力學性能。靶材致密度越高，濺射膜粒子的密度越低，放電現(xiàn)象越弱，薄膜的性能也越好；致密度低的靶材在濺射過程中，存在于靶材孔隙中的氣體突然釋放，造成大尺寸的材料顆?；蛭⒘ｏw濺，或在成膜之后薄膜受到二次電子的轟擊產(chǎn)生微粒，這些微粒的出現(xiàn)將嚴重影響硬質(zhì)涂層質(zhì)量。

　　

　　3、成分與結(jié)構(gòu)均勻性

　　
　　成分與結(jié)構(gòu)均勻性是考察靶材質(zhì)量的重要指標之一。對于復相結(jié)構(gòu)的合金靶材和混合靶材，不僅要求成分的均勻性，還要求組織結(jié)構(gòu)的均勻性。只有靶材的成分和結(jié)構(gòu)均勻，在后期鍍膜過程中才能均勻地濺射在基體上；如果均勻性不好，沉積出來的薄膜均勻性也會受到影響，容易出現(xiàn)孔洞、間隙、凸起等缺陷。
　　

　　4、晶粒尺寸和取向

　　
　　靶材的晶粒尺寸越細小，沉積的薄膜厚度分布越均勻，濺射速率越快。在靶材的濺射沉積鍍膜過程中發(fā)現(xiàn)，合金靶材具有擇優(yōu)濺射現(xiàn)象，這嚴重影響到薄膜的化學組成，因此控制合金靶材中的晶粒取向顯得尤為重要。
　　

　　5、幾何形狀與尺寸

　　
　　主要體現(xiàn)在加工精度和質(zhì)量方面，如表面粗糙度和平整度等。檢查靶材表面有無開裂、縮孔和難熔不熔物等。靶材對表面質(zhì)量的控制極為嚴格，表面質(zhì)量缺陷對后續(xù)的濺射鍍膜均勻性影響很大。
　　

　　二、硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材性能要求

　　
　　硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的性能要求主要是對濺射靶材的熱導率、電導率和熱膨脹系數(shù)的要求。因濺射導致靶材的溫度升高，熱導率越高熱量傳遞的越快，靶材離子的蒸發(fā)效果越好，沉積效率越高；靶材與基材的熱膨脹系數(shù)的差值越小越好，借以減小熱應力的影響。
　　
　　綜上，硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的技術(shù)要求包括靶材的純度、致密度、成分與結(jié)構(gòu)均勻性等；性能要求主要是對濺射靶材的熱導率、電導率和熱膨脹系數(shù)的要求。四豐電子材料是一家高純靶材的生產(chǎn)公司，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻細小、性能穩(wěn)定一致，年產(chǎn)靶材1000噸，如果您有需要，歡迎聯(lián)系四豐詳詢！